2024年5月7日拟对建设项目环评文件作出审批意见的公告（南湖高新区浙江芯晟半导体科技有限责任公司6英寸半导体特色工艺研发及产业化项目）

序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

污染（略）

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南湖高新区**芯晟半导体科技有限责任公司6英寸半导体特色工艺研发及产业化项目

**省**市南湖区科技城，**永业路，南至新大公路，西至**路，北至驰骋路

**芯晟半导体科技有限责任公司

项目总投资（略）万元，租用大桥镇新大路 232号67651.32厂房，购置光刻机、涂胶显影机、干法刻蚀机、湿法刻蚀机、离子注入、溅射机、PECVD、扩散炉等设备，形成年产64万片6英寸功率器件特色半导体的生产能力。

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建设（略）：将按照环评提出的相关要求实施项目建设，确保落实各项污染防治和生态保护措施。

营运期污染防治措施：

1、废水污染物：生活污水经化粪池、隔油池预处理，生产废水经厂区污水处理设施后达标纳管排放。

2、废气污染物：①酸性废气、工艺尾气（不含砷）：酸性废气经管道收集；工艺尾气经管道收集后通过“POU 燃烧+水洗”处理后均引至三套碱液喷淋装置处理后引至3根30m排气筒排放。②碱性废气：废气经管道密闭收集后（略）高排气筒（DA004）高空排放。③有机废气经管道密闭收集后送沸石浓缩转轮+RTO 焚烧处理后于29m高排气筒高空排放。④工艺尾气经管道收集后通过“干式过滤”处理后与一般排风一起引至17m 排气筒排放。⑤锅炉废气收集后于30m高排气筒高空排放。⑤食堂油烟废气经油烟净化器处理后于房顶排放。

3、固体污染物：①要求本项目建设规范的一般固废仓库和危险固废仓库，其中（略）：废靶材、电子混合废料、一般废包装物、废膜、废离子交换树脂、污水处理污泥、硫酸铵溶液、废滤芯、废滤料、废活性炭以及员工生活垃圾。其中生活垃圾由环卫部门统一清运，污水处理污泥委托有污泥处置资质的单位处置，废靶（略），其余一般固废经收集后外卖处置。②危险固废中废硫酸液、废氢氟酸、废盐酸液、光刻胶废液、高浓度含氨废液、废磷酸液、高浓度有机废液、废腐蚀液、废包装材料、吸附材料、废沸石、废离子交换树脂、废含汞灯管、废锰砂、废检测试剂、沾染化学品的废弃物均委托有资质单位处置。要求企业按危废（略），并做好相（略）。

4、噪声：①合理布置车间，尽量将高噪声源布置在车间中央。②注意设备安装，安装中对（略）。③生产车间的墙壁、房顶应尽量采用吸声材料及隔声结构（墙壁、地面），并在生产期间门窗关闭。④设备保养，平时生产中加强对各设备的维修保养，对其主（略），确保设（略），杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。⑤加强厂区绿化，加强对员工（略），合理安排作业时间，文明操作，轻拿轻放，尽量减少夜间工作时间。